久久久久久久久女黄9999-久久久久久久免费视频-久久久久久久综合狠狠综合-久久久久久免费观看-亚洲欧美一区二区三区九九九-亚洲欧美一区二区三区不卡

當前位置：首頁  >  產品中心  >  EVG納米壓印機  >  UV-NIL/SmartNIL紫外壓印  >  EVG610納米壓印光刻系統

納米壓印光刻系統

簡要描述：納米壓印支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并可選擇背面對準。此外，該系統還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。

  • 產品型號：EVG610
  • 廠商性質：代理商
  • 產品資料：
  • 更新時間：2024-11-26
  • 訪  問  量： 11229

詳細介紹

該設備支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并可選擇背面對準。此外，該系統還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。

EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉換時間僅為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到專家級別的所有需求，因此使其成為大學和研發應用程序的理想選擇。

對于壓印工藝，EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑150毫米不等。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外，還可以包括印章的釋放機制。EV Group專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力，以實現高產量的壓印，該卡盤設計既支持軟印章也支持硬印章。

納米壓印機技術數據：
晶圓直徑 （基板尺寸）
標準光刻 碎片蕞大150毫米
柔軟的UV-NIL 蕞大150毫米的碎片
解析度 ≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程 柔軟的UV-NIL
曝光源 汞光源或紫外線LED光源
自動分離功能 不支持
工作印章制作 外部
 
納米壓印機特征：
1) 頂部和底部對準能力
2) 高精度對準臺
3) 自動楔形誤差補償機制
4) 電動和配方控制的曝光間隙
5) 支持新的UV-LED技術
6) 蕞小化系統占地面積和設施要求
7) 分步流程指導
8) 遠程技術支持
9) 多用戶概念（無限數量的用戶帳戶和配方，可分配的訪問權限，不同的用戶界面語言）
10) 敏捷處理和光刻工藝之間的轉換
11) 臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

納米壓印機主要應用：
具有紫外線納米壓印功能的通用研發掩膜對準系統，支持尺寸從碎片到蕞大150毫米。
附加功能：
1) 鍵對準
2) 紅外對中
3) 納米壓印光刻
4) 微接觸印刷
納米壓印工藝結果：

圖1  微鏡頭

圖2  納米壓印結果（100納米分辨率）


 

 

產品咨詢

留言框

  • 產品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

主站蜘蛛池模板： 国产精品1区2区3区 国产精品1区2区3区在线播放 | 成人午夜做爰视频免费看 | 午夜丝袜美腿福利视频在线看 | 欧美精品免费看 | 日韩二区三区 | 成人免费视频在线看 | 婷婷在线成人免费观看搜索 | 亚洲欧美另类自拍第一页 | 人与禽的免费一级毛片 | 免费v片在线观看 | 欧美亚洲精品在线 | 国产在线视频一区二区三区 | 国产精品2020观看久久 | a毛片a毛片a视频 | 午夜看片网站 | 中文字幕水野优香在线网在线 | 91欧美激情一区二区三区成人 | 九九综合| 97久久精品视频 | 久久久精品一区 | 最新欧美一级视频 | 国产欧美一区二区另类精品 | 国产欧美亚洲精品一区 | 日韩手机看片福利精品 | 一区二区三区高清不卡 | 国产精品日韩欧美一区二区 | 久久久久久久久久免免费精品 | 亚州综合网 | 怡红院日本一道日本久久 | 激情性爽三级成人 | www色午夜| 性夜影院爽黄a爽免费看网站 | 免费播放国产性色生活片 | 欧美色大成网站www永久男同 | 男人的天堂中文字幕 | 亚洲国产剧情在线精品视 | 手机在线播放视频 | 成人午夜精品久久不卡 | 女人张开腿让男人桶视频免费大全 | 欧美一级视频免费看 | 欧美日韩ay在线观看 |