久久久久久久久女黄9999-久久久久久久免费视频-久久久久久久综合狠狠综合-久久久久久免费观看-亚洲欧美一区二区三区九九九-亚洲欧美一区二区三区不卡

當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  EVG鍵合機  >  晶圓鍵合機  >  EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng)

EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng)

簡要描述:EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng) 應(yīng)用:用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和高級襯底鍵合的低溫等離子體活化系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 2739

詳細介紹

EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng)應(yīng)用:用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和高級襯底鍵合的低溫等離子體活化系統(tǒng)

一、簡介

       EVG810 LT (LowTemp™)低溫等離子活化系統(tǒng)是一個獨立單腔室系統(tǒng),具有手動操作功能。 處理室允許非原位處理(晶片一個接一個地激 活并且鍵合在等離子體活化室外部)。

二、特征

      用于低溫鍵合的表面等離子體活化(熔合/分子和中間層鍵合)

      任何晶圓鍵合機制的快動力學(xué)

      無需濕法工藝

      低溫退火時的高鍵合強度(高400°C)

      適用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和先進封裝

      高度的材料兼容性(包括CMOS)

三、參數(shù)

       1.晶圓尺寸:50-200mm,100-300mm

       2.低溫等離子活化腔:

        工藝氣體:2種標準工藝氣體(N2和O2)

        通用大流量控制器:自校準(高達20.000 sccm)

        真空系統(tǒng):0.09 mbar

        打開/關(guān)閉腔室:自動化

        裝載/卸載腔室:手動(晶圓/基板放置在裝載銷上)

       3.備選功能:

        用于不同的晶圓尺寸的夾頭

        金屬離子激 活

        帶有氣體混合的附加工藝氣體

        帶渦輪泵的高真空系統(tǒng):0.009 mbar的基礎(chǔ)氣壓

       4.符合LowTemp™等離子活化鍵合的材料系統(tǒng)

        Si:Si / Si,Si / Si(熱氧化,Si(熱氧化)/ Si(熱氧化)

        TEOS / TEOS(熱氧化)

        絕緣體鍺(GeOI)的Si / Ge

        硅/Si3N4

        玻璃(無堿浮法):硅/玻璃,玻璃/玻璃

        化合物半導(dǎo)體:GaAs,GaP,InP

        聚合物:PMMA,環(huán)烯烴聚合物

        用戶可以針對上述內(nèi)容和其他材料使用“佳已知方法”配方(可根據(jù)要求提供完整列表)

 

 

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
主站蜘蛛池模板: 成人a站| 在线aaa| 成人在线观看国产 | 高级毛片| 国产精品 色 | 99国产精品九九视频免费看 | 国产特一级毛片 | 品色堂永久免费 | 国产三级在线观看播放 | 精品一区二区三区免费毛片爱 | 成人18免费网站在线观看 | 亚洲精品98久久久久久中文字幕 | 国产a一级毛片含羞草传媒 国产a自拍 | 日韩精品一区二三区中文 | 成人午夜视频在线观看 | 国产免费一区二区在线看 | 九色视频在线观看免费 | 九九视频精品在线 | 久久精品视频免费看 | 国产亚洲精品影达达兔 | 国产成人久久久精品一区二区三区 | 欧美另类videosbestsex视频 | 国产精品久久国产三级国电话系列 | 最新亚洲精品国自产在线 | 韩国美女爽快毛片免费 | jyzzjyzz国产免费观看 | 精品亚洲福利一区二区 | 一级aaaaaa毛片免费 | 草草视频在线播放 | 大伊香蕉精品视频在线天堂 | 无码免费一区二区三区免费播放 | 真实一级一级一片免费视频 | 一级做a爱久久久久久久 | 高清毛片一区二区三区 | 国产成人精品午夜 | 亚洲在线免费 | 亚洲日本在线观看视频 | 免费一级做a爰片久久毛片 免费一级做a爰片性色毛片 | 国产精品2019 | 国产精品亚洲国产三区 | 黄色国产网站 |