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白光干涉儀具有測量準確度高等諸多優勢

更新時間:2022-05-19  |  點擊率:1450
  白光干涉儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
 
  白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
 
  目前儀器可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
 
  產品優勢:
  1、美國硅谷研發的核心技術和系統軟件。
  2、關鍵硬件采用美國、德國、日本等。
  3、PI納米移動平臺及控制系統。
  4、Nikon干涉物鏡。
  5、NI信號控制板和Labview64 控制軟件。
  6、TMC光學隔振臺。
  7、測量準確度重復性達到不錯的水平。
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